标题
Pt /二氧化钛/ SiC的表征和测试为气体传感薄膜的分层结构
文档类型
文章
出版日期
9-2-2013
出版来源
薄固体电影
卷号
542年
第一页
404年
最后一页
408年
出版商
爱思唯尔
石头
0040 - 6090
文摘
介绍我们的调查结果对气体传感性能基于Pt /二氧化钛/ SiC的场效应设备。这些Pt /二氧化钛/ SiC的电流电压特性传感器在530摄氏度显示一个明确的转变在暴露于低电压增加氢气浓度。这表明在金属氧化物界面势垒高度,减少因能源乐队的平界面和可以归因于Pt的降低由于吸收氢的功函数。的有效势垒高度的变化δφb 1%氢在空气中被发现125伏。接口的热稳定性在Pt /二氧化钛/ SiC设备研究了卢瑟福背散射谱(苏格兰皇家银行)。苏格兰皇家银行样本在沉积和退火条件下的光谱进行了比较和分析。Pt /二氧化钛和二氧化钛/碳化硅层inter-diffusion最小的显示界面。薄膜成分发现稳定即使重复测试,让分析物气体。这是进一步证实了x射线光电子能谱分析的样本。作者(C) 2013。 Published by Elsevier B.V. All rights reserved.
关键字
接口,卢瑟福背散射谱、x射线光电子能谱、气体传感器、碳化硅,二氧化钛,溅射,肖特基二极管,传感器、氢、温度、二氧化钛、表面,2
建议引用
Kandasamy, S。,答:Trinchi,m . k . Ghantasala,格雷厄姆·f·Peaslee,答:荷兰,w . Wlodarskiand E. Comini. "Characterization and Testing of Pt/Tio2/Sic Thin Film Layered Structure for Gas Sensing."薄固体电影542年,(2013):404 - 408。
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